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廠務監控系統

FMCS

廠務監控系統

集中掌握環境、氣體、化學品、能源、水處理與消防系統的即時狀態。

  • 無塵室溫濕度、微塵粒子、冰水機與排氣
  • 特氣與化學液體供應狀況
  • UPS、配電、用電量與能效
  • 純水、UPW、廢水與冷卻水
  • 火災警報、消防管網與緊急排風
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